白光干涉儀是目前三維形貌測量領域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。
原理：
它是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長（～10-7米），所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所不能相比的。
白光干涉儀與臺階儀相比具有以下優點：
1、是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；
2、是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；
3、是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；
4、是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精確的得到理想的測量結果。隨著白光干涉測量技術的發展和完善，白光干涉測量儀器已經得到了廣泛的應用。在微電子、微機械、微光學等領域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。
