電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。在國內研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種*的測試儀器。
應用范圍：
主要用于解決下述各種測量問題：壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。
性能：
電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等；因此可以在高溫、低溫強磁場、強輻射下長期工作，尤其是解決高溫高壓環境下的檢測難題。
該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，在線、連續、實時的檢測各種數據然后直接顯示，遠程控制和報警。實現數據存儲，積算、傳輸和控制功能。廣泛應用于各種注塑機中。
電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進行檢測比較適宜。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應用范圍越來越廣泛。
電容式位移傳感器的特點：
1、旋轉軸的徑向跳動，軸向竄動和回轉精度；
2、往復機構的運動特性和重復定位精度；
3、正弦波激振和脈激振中振動測量；
4、機器零部件相對振動相對變形；
5、盤類零件的端面振擺；
6、軸承間隙和油膜厚度；
7、檢測零部件尺寸和平直度；
8、線切割機床電極絲的振動；
9、機床主軸熱位移與動態加載試驗測量；
10、也可用于金屬導體之外的絕緣物體（如大理石、塑料、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動、位移測量。
