三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
本產品適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區差異繪圖。
三維形貌儀的使用優點：
1、高分辨率：檢測每個細節并提供*的分辨搴。
2、*精度：提供高精度，生成精密的3D物體圖像。
3、真正便攜式設備：可裝入一只手提箱，攜帶到作業現場或者轉移于工廠之間。
4、價格實惠：具有競爭力，不需要連接CMM掃描臂或其他外部跟蹤裝置，且成本維護費用極低。
5、手持式設備：設備的外形和重量分布*長期使用，不會導致出現肌肉和骨骼酸痛。
6、自定位：不需要額外跟蹤或定位設備，創新的定位目標點技術可以使用戶根據其需要以任何方式、角度移動被測物體。
7、真正自動多分辨率：新型批量三角化處理裝置可在需要時保持更高分辨率，同時在平面上保持更大三角形網格，從而生成更小的STL文件格式。
8、雙掃描模式：用戶可使用安裝在設備頂部的按鈕在正常和高分辨率掃描模式之間切換。正常分辨率對于大型部件和動態掃描十分有用，而高分辨率于要求嚴格的復雜表面。
9、功能強大，使用界面友好：即使在狹小的空聞內使用都應用自如，可掃描任何尺寸、形狀及顏色的物體。只需極短的培訓學習時間即可上手。
