納米壓印機可制成圖案12英寸的肖特RealView玻璃晶圓

　　EV集團（EVG）是面向MEMS，納米技術和半導體市場的晶圓鍵合機和納米壓印機的先進供應商，今天宣布，它已與先進的技術集團之一的肖特（SCHOTT）合作在特種玻璃和玻璃陶瓷領域，證明了12英寸納米壓印光刻技術（NIL）已準備好用于制造波導/光的高折射率（HRI）玻璃晶片的大量圖案下一代增強/混合現實（AR/MR）耳機指南。

 

　　此次合作涉及EVG公司專有的SmartNIL納米壓印工藝和SCHOTT的RealView高折射率玻璃晶片，并且將EVG的NILPhotonics內開展在公司的總部設在奧地利的能力中心。肖特將在9月4日至7日在深圳會議中心舉行的CIOE上展示采用EVG的SmartNIL納米壓印技術制成圖案的12英寸肖特RealView玻璃晶圓。

 

　　“擴大規模到12英寸的高折射率玻璃晶圓制造對于實現規模經濟至關重要，這是我們的客戶需要滿足當今和未來AR/MR設備不斷增長的市場需求的規模經濟的關鍵。”肖特增強現實技術負責人Ruediger Sprengard。“通過雙方的共同努力，EVG和肖特正在展示當今12英寸HRI玻璃制造的設備和供應鏈準備情況。”

 

　　迄今為止，使用NIL圖案化具有光子學應用結構的玻璃基板的方法僅限于8英寸基板。向AR/MR頭戴式耳機進入大眾消費市場和工業市場的重要一步是向12英寸晶圓加工的過渡。然而，在這些較大的基板上維持高基板質量和工藝均勻性是難以控制的，并且需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術是解決納米圖案需求的多年研究，開發和現場經驗的結果，并且經過實踐證明，可以輕松地從芯片級樣品尺寸一直擴展到大面積基板。去年6月，EVG推出了HERCULES NIL 12英寸（納米壓印機），該公司將SmartNIL納米壓印機帶入12英寸制造領域，以支持多種設備和應用的生產需求，包括用于AR，MR和虛擬現實（VR）耳機的光學設備，以及3D傳感器，生物醫學設備，納米光子學和等離子體。

 

　　Markus說：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為NIL供應鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個開放式創新孵化器，以與EVG合作，以縮短創新型光子設備和應用的開發周期并縮短產品上市時間。”Wimplinger是EV Group的企業技術開發和IP總監。“我們很高興與SCHOTT之類的公司合作，展示EVG的NIL解決方案的價值，不僅可以促進新技術和工藝的開發，還可以加快其進入大眾市場的速度。我們正在與SCHOTT進行的這項最新工作證明了NIL設備和工藝的成熟，并為各種令人興奮的基于光子學的新產品和應用的12英寸制造奠定了基礎。”

 

　　肖特RealView高折射率玻璃晶圓是AR/MR器件的關鍵組件，可批量生產。該產品組合提供高達1.9的折射率，從而使深沉的AR/MR應用具有高達65度的更寬視野。經過與AR硬件制造商合作的多年研發，肖特于2018年推出了一代SCHOTT RealView。產品上市后僅一年，就贏得了享有盛譽的SID Display Industry Award 2019。