光學形貌儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，表面形貌儀具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。 
光學形貌儀的使用特點說明：
1、光學形貌儀測量材料能夠使材料不被損壞，具有非破壞性。能夠同時測量多種材料，不僅方便快捷，還能保證測量的準確度，大大節省了工作人員的時間，具有很高的效率性和便利性。
2、測量范圍廣，應用性強。不管是各種金屬、塑料、玻璃、紙、木頭，還是皮膚、牙齒、頭發以及各種材料，形貌儀都可以測量。
3、采用白光共聚焦色差技術，分辨率*。與此同時，本產品在測量材料是能夠不受樣品反射率和周圍環境光的影響。
4、測量范圍大，可高達27毫米。儀器上手快，操作十分簡單，測量的樣品無需進行任何處理方可進行測量。
日常的維護與保養：
1、使用后要及時清理殘渣：原則上，需要測量的樣本是不需要特殊處理的，但是部分測試材料，例如木頭、塑料甚至是人的皮膚、頭發等等，都可能在測試臺留下殘渣。因此，在使用過后一定要及時的清理，保證形貌儀的測試臺的整潔。
2、測頭是儀器的眼睛，如果發生損害或磨損，不能簡單的維修就可以了，一定要及時更換，防止下次測量數據的時候產生的誤差。失之毫厘謬以千里，一點小小的失誤就可能對個人乃至整個工程造成嚴重的后果。
3、定期保養，調試精度：光學形貌儀之所以能迅速占領市場，根本原因就在于它的測量速度快、度高。定期對它進行檢視，調試精度，不但能減少誤差，確保測量數據的準確，也有利于延長其使用期限，能在有限的時間內創造出無限的價值。
