<blockquote id="gkx97"><i id="gkx97"><noscript id="gkx97"></noscript></i></blockquote>

  1. 国产精品自在在线午夜免费,日本一卡二卡不卡视频查询,色综合久久蜜芽国产精品,国产精品无码午夜福利,波多野结衣在线播放,国产乱子伦精品免费女,欧美xxxxx在线观看,99噜噜噜在线播放

    當前位置:首頁  >  產品中心  >  EVG納米壓印機  >  UV-NIL/SmartNIL紫外壓印  >  EVG610納米壓印光刻系統

    納米壓印光刻系統

    簡要描述:納米壓印支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。

    • 產品型號:EVG610
    • 廠商性質:代理商
    • 產品資料:
    • 更新時間:2025-09-04
    • 訪  問  量: 16332

    詳細介紹

    該設備支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。

    EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求,因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。

    對于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括印章的釋放機制。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力,以實現高產量的壓印,該卡盤設計既支持軟印章也支持硬印章。

    納米壓印機技術數據:
    晶圓直徑 (基板尺寸)
    標準光刻 碎片蕞大150毫米
    柔軟的UV-NIL 蕞大150毫米的碎片
    解析度 ≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
    支持流程 柔軟的UV-NIL
    曝光源 汞光源或紫外線LED光源
    自動分離功能 不支持
    工作印章制作 外部
     
    納米壓印機特征:
    1) 頂部和底部對準能力
    2) 高精度對準臺
    3) 自動楔形誤差補償機制
    4) 電動和配方控制的曝光間隙
    5) 支持新的UV-LED技術
    6) 蕞小化系統占地面積和設施要求
    7) 分步流程指導
    8) 遠程技術支持
    9) 多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和配方,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
    10) 敏捷處理和光刻工藝之間的轉換
    11) 臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

    納米壓印機主要應用:
    具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統,支持尺寸從碎片到蕞大150毫米。
    附加功能:
    1) 鍵對準
    2) 紅外對中
    3) 納米壓印光刻
    4) 微接觸印刷
    納米壓印工藝結果:

    圖1  微鏡頭

    圖2  納米壓印結果(100納米分辨率)


     

     

    產品咨詢

    留言框

    • 產品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯系電話:

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細地址:

    • 補充說明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
    主站蜘蛛池模板: 男女18禁啪啪无遮挡激烈网站 | 国产精品一线二线三线| 攀枝花市| 国产精品国色综合久久| 久久久久久AV无码免费网站动漫| 日本人妻中文字幕乱码系列| 中国亚州女人69内射少妇| 阿尔山市| 全部免费a级毛片| 欧美老肥妇做爰bbww| 盐源县| 国产性色av高清在线观看| 国产精品18禁久久久久久白浆| 99婷婷久久精品国产一区二区| 亚洲国产另类精品| 国产美女精品AⅤ在线老女人| 亚洲最大成人AV| 欧美精品一产区二产区| 国产亚洲精品久久久美女18黄| 免费三级网站| 亚洲第一av网站| 国产中文字幕在线精品| 日韩av影院在线观看| 中国精品18videosex性中国| 一区二区三区视频| 久久精品国产成人av| 久久精品亚洲| 伊人久久大香线蕉综合影院75| 国产午夜亚洲精品不卡网站 | 亚洲一区二区人妻| 久久精品国产亚洲a| 国产亚洲精品精品精品| 97亚洲熟妇自偷自拍另类图片| 欧美 亚洲 日韩 国产| 亚洲口爆| 人妻 丝袜美腿 中文字幕| 一区二区三区av| 性色做爰片在线观看ww| 国产精品制度丝袜电影| 亚洲日本乱码熟妇色精品| 亚洲人成网站在线播放2019|