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    Photomask Blanks缺陷檢查裝置

    簡要描述:LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

    • 產品型號:LODAS™ – AI50/100
    • 廠商性質:代理商
    • 產品資料:
    • 更新時間:2025-09-04
    • 訪  問  量: 3421

    詳細介紹

    列真株式會社自創業以來,秉承“挑戰"、“創造"、“誠實"的經營理念,為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術,專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。


    特征:

    • 半導體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評價

    • 用微分干涉顯微鏡分析缺陷

    • 檢查對象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi

    • 檢查項目:顆粒、內部缺陷(Option)

    • 檢查靈敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)

    列真公司檢查裝置的維護、修理

    • 定期支持裝置安裝完成后的性能維持。

    • 24小時電話對應,全年無休的安心支持。

    • 認真對待客戶新的要求。

    • 召開技術研討會和充實各種手冊,讓顧客能夠自行維護和更換零件。

    • 提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務。




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