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    UltraFilm - 薄膜測量系統(tǒng)

    簡要描述:系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù),是國內(nèi)可以實現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 產(chǎn)品資料:
    • 更新時間:2025-09-04
    • 訪  問  量: 2487

    詳細介紹

    系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù),是國內(nèi)可以實現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

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    *1:靜態(tài)精度或可稱為同點位多次連續(xù)測量的最大偏差值,數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結(jié)果

    *2:多次取放測量同點位數(shù)據(jù)的最大三倍標準差值,數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結(jié)果

     

     

     

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