電容式位移傳感器探頭

什么是電容傳感器？

電容傳感器是一種通過測量兩個平行板之間線性位移來工作的裝置，其中一個板是傳感器本身，另一個板是傳感器所測量的物體——即目標物。

典型的電容傳感系統

- 電容探頭，也稱為“傳感器探頭"，是一種金屬或陶瓷外殼，內部裝有電容傳感器，用于檢測目標物體。
- 測量模塊，也稱為“測量電路板"，包含傳感器的驅動電子元件，并提供傳感器的模擬輸出信號。
- 測量電路板輸出的模擬信號通常連接至客戶計算機中的A/D（模數）轉換卡。

傳感器構造

如果沒有屏蔽環（保護電極），電場線可能會延伸到傳感器之外，并與其他接地表面或電場發生相互作用。通過使屏蔽環的電場與傳感器同相驅動，傳感器便只能與所需的目標形成電場。

主動式與被動式電容傳感器

-被動式傳感器適用于大多數應用場合。其探頭內部不含驅動電子元件，因而具有出色的穩定性和線性度。

-主動式傳感器在探頭內包含特殊的驅動電路，專為需要高分辨率和高測量帶寬的“高動態"應用而設計。

被動式電容探頭

主動式電容探頭

定制探頭

探頭可以通過多種方式進行定制
-根據客戶需求定制探頭尺寸或形狀
-帶斜面切割的探頭前端
-采用通孔式安裝而非夾持式安裝的探頭
-高穩定性選項——可與4810型高穩定性測量儀選件配套使用

特殊用途探頭

-陶瓷探頭適用于高穩定性應用場合
-在被動式探頭設計中可使用因瓦合金（Invar）以提高熱穩定性
-針對晶圓接地不良的應用場景，提供可“補償"的探頭選項