美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。 薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

美國(guó)FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備：美國(guó)FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來(lái)為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備。