詳細介紹
3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系統專為加工高折射率玻璃及其他透明晶體材料而設計。其的玻璃切割能力使其成為基于晶圓的增強現實（AR）波導分離與單片化處理的理想選擇。該系統高度靈活，并支持現場升級，既適用于研發用途，也能實現高良率的大規模量產。
亮點
•現場升級能力
•單位成本低
•批次尺寸與形狀選擇靈活
•避免邊緣損傷和崩邊
•玻璃單片化后具有高抗彎強度
•占地面積小
microPOLAR™ - 系統概述
microPOLAR 激光系統基于專為高通量大規模生產而設計的設備平臺。其模塊化設計支持現場升級，因此是增強現實（AR）等新興技術的理想選擇。
microPOLAR的激光切割工藝專為切割用于增強現實（AR）設備的高折射率晶圓而開發。因此，我們在工藝研發中特別注重實現抗彎強度。該工藝可有效避免加工過程中的邊緣損傷、崩邊以及顆粒產生。低零件公差只是這一高度專業化激光切割工藝的眾多優勢之一。
多種上下料和檢測選配方案的可用性，使該系統能夠作為高效能的生產平臺使用。它可輕松集成到生產線中，并提供機器人或人工上下料等多種操作選項。
| microPOLAR M | microPOLAR A | microPOLAR A2 | |
| 典型應用 | 用于AR設備的波導 | ||
| 生產效率水平 | •研究與開發* •試生產* | 量產* | •量產* •大規模生產* |
| 材料 | •SCHOTT RealView® (1.7; 1.8; 1.9; 1.9 輕量化) •HOYA •CORNING (1.7-2.0 RI) •其他透明晶體材料 (例如 LiNbO3) | ||
| 基板尺寸 | •裸晶圓: 12“ •貼膜晶圓: 8“ | ||
| 激光加工模塊 | •改性 •分離 | •改性 •分離 | •2X改性 •2X分離 |
| 附加模塊 | •手動上下料 •質量檢測 | •通過 EFEM 輸入 •質量檢測 •自動卸載至料盤 •通過 EFEM 輸出 | |
| 計量 | •自動對準 | ||
| microMMI 軟件 | •控制并監控所有硬件組件及加工參數 •多級用戶權限（管理員、主管、操作員） •數據輸入文件格式：DXF、CSV、Gerber、CLI，其他格式可按需提供 | ||
| 安全 | •符合激光1類安全標準的防護外殼，集成控制面板 •全景攝像頭（網絡攝像頭） | ||
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